加工成都石墨制品的话,首先需要有原料,那就是石墨。石墨的一个主要用途是生产耐火材料,包括火砖、连续铸造粉、铸模、坩埚、洗涤剂和耐高温材料。
由于石墨具有许多优良的性能,因而在冶金、机械、电器、化工、纺织等工业部门获得广泛的应用。可作耐火材料。成都石墨制品保持了鳞片石墨原有的化学特性还具有很强的自润滑性能,石墨粉的特性即高强性、耐高温3000℃以及耐低温-204℃,同时它的抗压强度大于800kg/㎡,并且抗氧化,在450℃空气中失重1%,回弹率为15-50%。因此石墨制品现已被广泛的应用在冶金、化工、石油化工、高能物理、航天、电子等方面。
1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。
2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。
3、离子注入用成都石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。
4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的成都石墨坩埚、成都石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯成都石墨加热器、保温罩等。
5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。